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ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 DIS-252 通过固定涡旋壁(固定涡轮)与对面涡旋壁(从动涡轮)的偏心运动,进行排气的真空泵
更新日期:
2024-08-16
型号:
DIS-252
厂商性质:
经销商
浏览量:
241
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ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T 通过低温区域的泵体均热化,在PVD工艺之外,尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵
更新日期:
2024-08-16
型号:
LR60 LR90 LR180
厂商性质:
经销商
浏览量:
310
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ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200 通过高温领域的泵体均热化,实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵
更新日期:
2024-08-16
型号:
HR60 HR90 HR300
厂商性质:
经销商
浏览量:
281
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ULVAC爱发科 螺杆型干式真空泵 UR421-T UR600 用途 CVD装置 蚀刻装置 灰化装置 ALD、ALH 等
更新日期:
2024-08-16
型号:
UR421-T UR600
厂商性质:
经销商
浏览量:
216
LS120A LS300A LS600AULVAC爱发科 螺杆型干式真空泵
ULVAC爱发科 螺杆型干式真空泵 LS120A LS300A LS600A LS1200A LS系列真空泵被归为螺杆型干式真空泵。以往要提高排气速度就要消耗大量电能,我们通过的螺杆形状和节电技术的融合,使该系列产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵
更新日期:
2024-08-16
型号:
LS120A LS300A LS600A
厂商性质:
经销商
浏览量:
306
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