ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵

ULVAC爱发科  多级罗茨型干泵 LR60  LR90 LR180 LR421 LR421-T

特点

低温区域均热化（LR系列）

在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。

氦气密封

通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。

瞬停对策

采取了1000msec以内瞬停对策。

出色的耐腐蚀性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。

通信功能

可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控

用途

成膜装置（溅射装置/蒸镀装置等）

缩短备料下料室的排气时间

作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）

ULVAC爱发科  多级罗茨型干泵  LR60  LR90 LR180 LR421 LR421-T

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