ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵

ULVAC爱发科  多级罗茨型干泵 HR60 HR90 HR300 HR600  HR1200

特点

高温区域均热化

实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。

UR系列可比HR系列更加高温化。

氦气密封

通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。

瞬停对策

采取了1000msec以内瞬停对策。

出色的耐腐蚀性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。

通信功能

可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控

用途

CVD装置

蚀刻装置

灰化装置

ALD、ALH 等

ULVAC爱发科  多级罗茨型干泵  HR60 HR90 HR300 HR600  HR1200

我司主打品牌明细表：

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科新宝、OKK机床、AMADA天田、MRM、新热工业SHINNETSU、 ATAGO爱拓、ARIMITSU有光工

业、SHOWASOKKI昭和测器、TOPCON拓普康、NIPPON GEAR千斤顶、Watty瓦蒂

化学品：SHINETSU信越化学、THREEBOND三键、TOAGOSEI东亚合成、三井化学MITSUI、KONISHI小西

设备类产品:ONIKAZE赤松、SHOWADENKI昭和电机、OSAWA大泽、TORAY东丽、EOLUS真空企业

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