OKK大宫工业 旋转干燥机 应用于半导体晶圆

OKK大宫工业 旋转干燥机 应用于半导体晶圆 OKH-802A

OKH-MR-系列

使用双流体喷雾清洗方法可以同时提高清洗效果和干燥效率！

载体清洗机是用于晶圆载体和载体盒的清洗和干燥机器。

它通过高压喷淋进行清洗，并通过离心力和清洁空气（或N2）进行干燥。

功能

提高干燥效率！

高速旋转通过离心力将工件表面的水分分散开，同时经过过滤的清洁空气被吹入进行干燥。（也可以使用N2规格。）

该设备实现了干燥效果的提升。通过使用独特的喷嘴，压缩空气可以吹走仅靠离心力无法分散的液滴。

考虑运行成本的环保规格

由于细颗粒被喷洒，这台机器的去离子水消耗量比传统机器减少了三分之一

这个环保设计考虑了设备价格和运行成本

OKK大宫工业 旋转干燥机 应用于半导体晶圆 OKH-802A

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