ULVAC爱发科 涡轮分子泵 罗茨泵

ULVAC爱发科  涡轮分子泵   罗茨泵  UTM300A-MS UTM400A-MS UTM800A-MS UTM1000A-MS

特点

泵体和控制器分开。控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。

自由的安装方向。自由的安装方向使系统装置的设计更灵活。

排气速度300L/s～4000L/s的型号阵容。

分子泵转速在25-100%范围内可变。通过改变转速在腔室中实现压力调节。

高耐用性和安全性。通过了大气冲击试验、急停测试等各种安全性确认试验。

用途

各种设备的主真空排气系统

- 半导体制造设备

- 蒸镀设备

- 溅射设备

- 研究开发设备

- 分析设备、实验装置等

主真空泵系统，用于不产生副反应生成物的轻工艺产线的真空系统。

其他的高真空排气系统

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