ULVAC爱发科 螺杆型干式真空泵

ULVAC爱发科  螺杆型干式真空泵  MS120A MS600A MS1200A

特点

通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。

采用ULVAC设计的转子轴，实现高性能的排粉。

从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。

用途

半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。

真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。

锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。

医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等

ULVAC爱发科  螺杆型干式真空泵  MS120A MS600A MS1200A

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