HONDA本多电子 石英振动式超声波清洗机

HONDA本多电子  石英振动式超声波清洗机 W-357-1MQG-SKC

特征

以最小的损伤清洗具有精细图案的晶圆

■在石英振动体上叠加超声波来清洗半导体晶圆。

通过化学液将超声波振动从石英振动体传播到半导体晶圆，从而清洗接触区域的化学液振动并利用其加速度去除表面的污垢。

■实现对半导体晶片损伤较小的清洁清洗

与化学溶液接触的部分使用石英，与使用填料等橡胶材料的设备相比，可以实现无橡胶溶出或磨损的清洁清洁。

■配备振动器冷却功能，通过气体（氮气等）冷却振动器，可稳定连续运行，无频率波动。

此外，通过冷却，不会出现突然的温度变化，从而延长了使用寿命

HONDA本多电子  石英振动式超声波清洗机  W-357-1MQG-SKC

目的

去除抗蚀剂残留物

磨边后、灰化后去除聚合物

栅电极清洗

CMP后清洗

●输出可变范围：0W至12W（振动器允许输入：使用空气吹扫冷却振动器时，连续10W）

●使用周围环境：温度：15至35℃，湿度：10至85%

●外部驱动器触点 额定值：超声波振动控制（控制侧） 接点输入：DC12V 16mA以上

　警报输出（本装置） 接点容量：DC24V 0.5A

■附属电缆：电源线（AC100V/2m或AC200V 2.4m中选择）、控制线（5m）x4

我司主打品牌明细表：

代理品牌：セメダインCEMEDINE施敏打硬、Nirei仁礼、KAIJO 楷捷、OHM欧姆电机、

NIPPONMUKI日本无机、SUIDEN瑞电、TACMINA泰克米纳、AMANO安满能、NIDEC-SHIMPO尼得

科新宝、OKK机床、AMADA天田、MRM、新热工业SHINNETSU、 ATAGO爱拓、ARIMITSU有光工

业、SHOWASOKKI昭和测器、TOPCON拓普康、NIPPON GEAR千斤顶、Watty瓦蒂

化学品：SHINETSU信越化学、THREEBOND三键、TOAGOSEI东亚合成、三井化学MITSUI、

KONISHI小西

设备类产品:ONIKAZE赤松、SHOWADENKI昭和电机、OSAWA大泽、TROAY东丽、EOLUS真空企

业株式会社、OKK大宮工業、KOTOHIRA琴平工业、REVOX莱宝克斯、SONIC索尼克、CCS光源

、MASDAC隧道式烘烤炉、鈴与工業株式会社纳豆生产设备、IKURATOOLS育良精机、ANLET

安耐特、Kitagawa北川、YOSHIKAWA吉川铁工、NAKAMURA中村留、SEIBU西部、KIWA纪和机

械、SHIZUOKA静冈铁工所、KAN管制作所、TAKEDA武田机械、MEITOU名东化工、FRISTAM弗里森、IWAKI易威奇

FA自动化: KONSEI近藤、CKD喜开理、IMAO今尾、二宫电线NINOMIYA、TAIYO太阳电线、TONE前田、EYE岩崎、S-VSNAS、AND、microStone微石、USHIO牛尾、ETOH江藤、SONOTEC

松泰克、SUZUKI铃木、MIRAI未来工业、COSMOS新宇宙（SDM-72、SDM-73）、KETT凯特、

柴田科学SIBATA、FUNATECH船越龙、SEN日森、CHUCK小林鉄工、SAKAGUCHI坂口電熱、帝

国TEIKOKU、仲精機NAKASEIKI、SEM坂本、J-SCOPE、HOWA、SOHGOHKEISO综合计装、谷沢

製作所、豊中ホツト研究所、 日本へルメシール株式社、MOBECA、VECCL、TEAC、

Morokoshi、OSAKA、MUTOH武藤、KINTSUNE、TOYOOKI丰兴、HIROTAKA、U-Technology、

KDS、ORGANO奥加诺、ONOSOKKI小野

小众产品：IRI软水机、USUTANI臼谷电子点焊机、CNK磁性分离器、HIMU 静音消除器、

NAC油水分离器、BL DYNAMICS气泡发生装置、工业CT无损检测 国产（可提供技术支持与方案）、hibikicorp

新能源动力电池： 日本旭精工、熊谷理机

期待您的咨询