品牌 | HORIBA/堀场 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 食品,能源,电子,汽车,综合 |
HORIBA堀场 浓度监测仪 pH计 流量计 CS-131C-22-W2P
CS-131是半导体制造清洗过程中使用的SC-1溶液的高精度化学浓度监测仪,实现了高速响应和紧凑性。持续监测用于去除颗粒和有机物的SC-1溶液(NH 3 /H 2 O 2 /H 2 O)的每种成分的浓度。通过使用监视器输出进行反馈控制,可以将SC-1溶液的浓度维持在可接受的范围内并消除不必要的化学交换。我们还有一个集成冷却器型号,支持较宽的样品温度范围
HORIBA堀场 浓度监测仪 pH计 流量计 CS-131C-22-W2P
支持 300mm 工艺中的浓度管理,测量周期约为 2 秒 (*)
实现了约2秒的短测量周期(*)的高速响应。我们支持多槽和单槽清洁设备的详细浓度控制。(*不包括化学品更换时间或冷却时间)
紧凑的设计有助于节省清洁设备的空间。
与传统型号相比,紧凑的设计可减少约 2/3 (*) 的占地面积,有助于节省清洁设备的空间。可轻松集成到清洁设备中。
(*与本公司产品CS-220系列比较)
通过减少清洁过程中的批次缺陷来提高产量
通过使用监视器输出控制 SC-1 溶液的补充,实现了高度可重复的清洁。这减少了清洁过程中的批次缺陷并有助于提高产量。
全自动测量,轻松管理
。用户只需引入SC-1解决方案。测量是全自动的,因此测量开始后无需控制。此外,参考光谱测量使用空气,因此不需要水作为公用设施。
通过消除气泡措施,可以测量高温样品。气泡
在脱气罐中分离,测量过程中使用电磁阀最大限度地减少气泡进入流通池。此外,如果集成了冷却器,高温样本可以直接传递到监测仪。
采用24V DC,安全性高
采用低压24V DC供电,进一步提高了防触电安全性。此外,内置漏水传感器可实现紧急响应,例如在漏水时切断 SC-1 溶液的供应
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